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BVE真空抽氣機組
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用途與功能:
本機組以羅茨泵作為主泵,以旋片真空泵作為前級泵,在前級泵與主泵之間串聯一個電磁壓差閥,隨前級泵的開啟而動作,本機組的進口安裝有微型熱偶真空計及進口德國迪羅公司閥門。真空計的作用是觀察被抽系統的真空度及控制羅茨泵的啟停,采用迪羅閥門的目的是保證機組的密封可靠性。
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本機組以羅茨泵作為主泵,以旋片真空泵作為前級泵,在前級泵與主泵之間串聯一個電磁壓差閥,隨前級泵的開啟而動作,本機組的進口安裝有微型熱偶真空計及進口德國迪羅公司閥門。真空計的作用是觀察被抽系統的真空度及控制羅茨泵的啟停,采用迪羅閥門的目的是保證機組的密封可靠性。
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